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智慧型X射線熒光鍍層測厚儀

簡要描述·▩•╃│:智慧型X射線熒光鍍層測厚儀智慧型Thick800A是天瑞儀器股份有限公司的集多年X熒光測厚儀經驗✘☁☁☁✘,專門研發的一款上照式膜厚測試儀✘↟。儀器外觀簡潔大方✘☁☁☁✘,透過自動化的X軸Y軸Z軸的三維移動✘☁☁☁✘,雙鐳射定位和保護系統✘☁☁☁✘,實現對平面✘╃、凹凸✘╃、拐角✘╃、弧面等各種簡單及複雜形態的樣品進行快速對焦精準分析✘↟。

  • 產品型號·▩•╃│:Thick 800A 智慧型
  • 廠商性質·▩•╃│:經銷商
  • 更新時間·▩•╃│:2022-03-15
  • 訪  問  量·▩•╃│:224
詳細介紹

智慧型X射線熒光鍍層測厚儀產品說明✘╃、技術引數及配置

智慧型Thick800A是天瑞儀器股份有限公司的集多年X熒光測厚儀經驗✘☁☁☁✘,專門研發的一款上照式膜厚測試儀✘↟。儀器外觀簡潔大方✘☁☁☁✘,透過自動化的X軸Y軸Z軸的三維移動✘☁☁☁✘,雙鐳射定位和保護系統✘☁☁☁✘,實現對平面✘╃、凹凸✘╃、拐角✘╃、弧面等各種簡單及複雜形態的樣品進行快速對焦精準分析✘↟。

效能優勢

配          置——採用高解析度SDD探測器;解析度高達140eV
上照式設計——實現微小不規則表面樣品如弧形✘☁☁☁✘,拱上照式設計形✘☁☁☁✘,凹槽✘☁☁☁✘,螺紋等異形的快✘╃、準✘╃、穩高效檢測
高精度自動化的X軸Y軸Z軸的聯動裝置實現對樣品的精準對焦快速檢測
採用高度自動定位鐳射✘☁☁☁✘,可快速精準定位測試高度✘☁☁☁✘,以滿足不同尺寸的鍍層測試
多種準直孔可供選擇——準直孔·▩•╃│:0.05*0.3mm;Ф0.1mm;Ф0.2mm;Ф0.3mm;Ф0.5mm
定位精準——樣品可快速精準定位
操作簡易——全自動智慧整合設計✘☁☁☁✘,讓檢測輕鬆完成

技術優勢

儀器配置高

圖1

圖2

智慧型X射線熒光鍍層測厚儀

智慧型Thick 800A採用的是業內的SDD半導體電製冷探測器✘☁☁☁✘,解析度可達140eV,可以很好的區分相鄰元素譜峰✘↟。
以Au/Ni/Cu鍍層為例✘☁☁☁✘,正比計數盒儀器譜圖如圖一✘☁☁☁✘,從譜圖可以看出銅鎳兩元素的譜峰重疊嚴重✘☁☁☁✘,金的峰形與樣品本底重疊;不利於元素準確分析✘↟。
圖二是半導體SDD儀器測試Au/Ni/Cu的光譜圖✘☁☁☁✘,從譜圖可以看出銅鎳金這三個元素的譜峰得到很明顯的區分✘☁☁☁✘,有利於元素精準分析✘↟。

聚焦光路設計

智慧型Thick 800A採用*的光路交換裝置✘☁☁☁✘,讓X射線與攝像光處於同一垂直線✘☁☁☁✘,達到鐳射點與測試點一體✘☁☁☁✘,且X光高度聚焦;配合FP軟體達到對焦變焦功能✘☁☁☁✘,實現微小不規則樣品的精準測試;高整合的光路交換裝置與接收器的角度可縮小一倍✘☁☁☁✘,有效的減少弧度傾斜放樣帶來的誤差✘↟。

特製濾波片實現低背景測量


透過特製濾波片可以有效降低X熒光的吸收與增強作用✘☁☁☁✘,減小背景散射✘☁☁☁✘,提高對超薄金屬元素的檢出限(可以達到0.005um)✘☁☁☁✘,實現超薄金屬鍍層厚度分析✘↟。


高精度定位技術

高精度移動平臺可精確定位測試點✘☁☁☁✘,平臺電機重複定位精度小於0.005mm;移動平臺可透過測試軟體視覺化操作·▩•╃│:滑鼠可控制移動平臺✘☁☁☁✘,滑鼠點選的位置就是被測點✘↟。

FP演算法

智慧型Thick 800A分析核心技術----FP演算法
元素厚度精準檢測
微區分析✘╃、薄膜分析✘╃、高階次譜線分析

更加專業和人性化的測試軟體

①主介面增加曲線快速切換功能;
②滑鼠移動快捷鍵更改不需要ctrl✘☁☁☁✘,滑鼠點哪✘☁☁☁✘,樣品平臺就會移動到哪裡✘☁☁☁✘,更加方便客戶測試;
③鍍層厚度自動判定✘☁☁☁✘,客戶可以根據需要自定義判定標準;
④工作曲線介面加入備註名稱可編輯✘☁☁☁✘,並可以顯示在主介面曲線介面✘☁☁☁✘,對英文元素做備註說明✘☁☁☁✘,方便客戶區分✘☁☁☁✘,介面對客戶更加友好
⑤自動生成測試報告✘☁☁☁✘,測試歷史資料檢視✘╃、檢索等
⑥行業解決方案✘☁☁☁✘,如精密部件釹鐵硼鍍鎳鍍銅再鍍鎳✘☁☁☁✘,電泳漆測厚度✘☁☁☁✘,鋁塑膜測試鍍鋁的厚度等


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